| 发明名称 | 冷却装置、使用了该装置的图像显示面板的制造装置以及方法 | ||
| 摘要 | 在构成使用了电子线放射元件等的图像显示装置的基板的加热以及冷却过程中使用的冷却装置中，具备与基板相对而且吸收基板的放射热的冷却板，通过在冷却板中设置与基板的低放射率区域相对的图案的高放射率区域，减轻基板冷却时的基板温度分布的变化，防止基板畸变或者破损。 | ||
| 申请公布号 | CN100549225C | 申请公布日期 | 2009.10.14 |
| 申请号 | CN200510054886.9 | 申请日期 | 2005.03.22 |
| 申请人 | 佳能株式会社 | 发明人 | 吉村昌真 |
| 分类号 | C23C16/46(2006.01)I;C30B25/10(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I;H01L21/205(2006.01)I;H01L21/3065(2006.01)I;H01L21/31(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/46(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 许海兰 |
| 主权项 | 1.一种冷却装置，该冷却装置使冷却板与基板相对，吸收来自该基板的放射热进行冷却，其特征在于：上述基板至少在单面的一部分具有放射率与该基板不同的异放射率部件，在上述冷却板的与上述基板的相对面上，与上述异放射率部件相对应地设置放射率与冷却板的其它区域不同的异放射率区域。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||