| 发明名称 | 升降机线性马达驱动 | ||
| 摘要 | 公开了一种具有磁导管结构的衬底处理系统以改善系统内的衬底运输设备的移动。该结构通过使用磁导管来重新引导由线性马达产生的磁力，允许线性马达被定位在系统的外面并且处于不与运输设备的移动相互干扰的位置中，特别地提供了运输设备在衬底处理系统的多个级别之间的安全、可靠的移动。 | ||
| 申请公布号 | CN101483145A | 申请公布日期 | 2009.07.15 |
| 申请号 | CN200810247088.1 | 申请日期 | 2008.11.12 |
| 申请人 | 因特瓦克公司 | 发明人 | S·斯科莱 |
| 分类号 | H01L21/677(2006.01)I;H01L21/00(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/677(2006.01)I |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人 | 刘佳斐;蔡胜利 |
| 主权项 | 1、一种系统，用于在具有至少一个室的衬底处理系统中传输衬底，包括：轨道，定位在该室中；衬底运输设备，安装在该轨道之上用于传输该衬底；多个磁元件，连接到该运输设备上；线性马达；多个磁导管，定位在该线性马达和该运输设备之间，其中该磁导管将磁力从该线性马达传递到该运输设备，以产生磁耦合来传输该运输设备。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚 | ||