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发明名称 VORRICHTUNG ZUR OBERFLÄCHENMODIFIZIERUNG VON POLYMER-, METALL- UND KERAMIKMATERIALIEN UNTER VERWENDUNG EINES IONENSTRAHLS
摘要
申请公布号 DE69839189(T2) 申请公布日期 2009.03.26
申请号 DE19986039189T 申请日期 1998.12.04
申请人 KOREA INSTITUTE OF SCIENCE AND TECHNOLOGY 发明人 JUNG, HYUNG JIN;CHOI, WON KOOK;CHO, JUNG;KOH, SEOK KEUN
分类号 C08J7/00;C23C14/24;C23C14/46;C23C14/48;C23C16/44;C23C16/48;C23F4/00;D06B19/00;H01J37/317;H01J37/32 主分类号 C08J7/00
代理机构 代理人
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