| 发明名称 | 标记晶圆的方法、标记劣品晶粒的方法、晶圆对位的方法、以及晶圆测试机 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种标记晶圆的方法，其包括提供一具有至少两个参考标记的晶圆，此晶圆的一表面包含有多个晶粒，同时检测晶圆的上述参考标记以执行一晶圆对位的步骤，并且利用一激光光对上述晶圆作标记。另，本发明亦可适用于晶圆的晶粒例如劣品晶粒的标记，其相较于现有利用油墨对劣品晶粒进行标记的技术而言，不仅具有可减少晶圆污染、作业时间和厂房空间、以及永久标记等优点，更具有易于利用现今的晶圆测试机或油墨机台进行改造的特点。 | ||
| 申请公布号 | CN101369516A | 申请公布日期 | 2009.02.18 |
| 申请号 | CN200710141606.7 | 申请日期 | 2007.08.17 |
| 申请人 | 京元电子股份有限公司 | 发明人 | 郑匡文 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01);H01L21/68(2006.01);H01L21/66(2006.01);B41M5/24(2006.01);B23K26/00(2006.01);B23K26/06(2006.01) | 主分类号 | H01L21/00(2006.01) |
| 代理机构 | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 陈肖梅;谢丽娜 |
| 主权项 | 1.一种标记晶圆的方法，其特征在于，包括：提供一具有至少两个参考标记的晶圆，该晶圆的一表面包含有多个晶粒；同时检测该晶圆的该些参考标记，以执行一对该晶圆对位的步骤；以及利用一激光光对该晶圆作标记。 | ||
| 地址 | 中国台湾新竹市 | ||