| 发明名称 | 全折射式投影物镜 | ||
| 摘要 | 本发明提出一种全折射式投影物镜，用于将物平面内的图案投射到像平面内，所述投影物镜系统由25片光学镜片组成，从物面到像面依次排列有五个镜片组，其中，第一和第三镜片组具有负光焦度，第二、第四和第五镜片组具有正光焦度，本发明可以控制物方和像方远心度在3毫弧度以内，提高了光刻不同层之间的互联性能，另外减少镜片使用的数量，且使用同一材料的镜片，降低了制造成本和调试的难度。 | ||
| 申请公布号 | CN101349798A | 申请公布日期 | 2009.01.21 |
| 申请号 | CN200810042325.0 | 申请日期 | 2008.08.29 |
| 申请人 | 上海微电子装备有限公司 | 发明人 | 孙文凤;储兆祥 |
| 分类号 | G02B13/00(2006.01);G02B9/60(2006.01);G02B13/18(2006.01);G02B1/02(2006.01) | 主分类号 | G02B13/00(2006.01) |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人 | 屈蘅;李时云 |
| 主权项 | 1、一种全折射式投影物镜，用于将物平面内的图案投射到像平面内，所述投影物镜从物面到像面依次排列有五个镜片组，其特征在于：第一镜片组(G1)具有负光焦度，第二镜片组(G2)具有正光焦度，第三镜片组(G3)具有负光焦度，第四镜片组(G4)具有正光焦度，第五镜片组(G5)具有正光焦度，所述的全折射式投影物镜系统由25片光学镜片组成，且其中第一镜片组(G1)包含两片非球面镜片，第五镜片组(G5)至少包含连续三片月凸透镜片。 | ||
| 地址 | 201203上海市张江高科技园区张东路1525号 | ||