带有标准角度转台的激光角度干涉测量系统及其测量方法

摘要

本发明为带有标准角度转台的激光角度干涉测量系统及测量方法。解决已有激光角度干涉仪量程小、初始零位误差和反射镜常数A误差对测量精度有影响的问题。激光头(1)和角度干涉仪(2)位置固定，带有标准角度的转台上盘(4)与角度反射镜(3)连接，激光头(1)发出的激光经角度干涉仪(2)投向角度反射镜(3)，转台上盘(4)与心轴(9)紧配合，转台底盘(5)与心轴(9)动配合，与转台上盘(4)之间可以相对转动，并通过螺栓(7)与被测转台(6)连接，测量时转台上盘(4)连同角度反射镜(3)，相对于被测转台(6)、转台底盘(5)、转台上盘(4)和角度反射镜(3)整体以同一角度依次作相反方向转动，保证激光束不会偏离角度反射镜(3)，连续读出每次转动后激光角度干涉仪读数，通过运算得到任意角度的测量值。

主权项

1、带有标准角度转台的激光角度干涉测量系统，其特征在于激光头(1)和角度干涉仪(2)位置固定，激光头(1)发出的激光经角度干涉仪(2)射向角度反射镜(3)，角度反射镜(3)由两个角偶棱镜组成，当角度反射镜(3)旋转时，由两个角偶棱镜反射回激光头(1)的激光产生光程差，通过计算机运算得到旋转角度值，角度反射镜(3)安装于转台上盘(4)上，转台上盘(4)与心轴(9)紧配合，转台底盘(5)与心轴(9)动配合，转台上盘(4)和转台底盘(5)之间可以相对同轴转动，并通过定位机构锁定，锁定位置由转台上盘(4)侧面圆周上的角度标志(8)和转台底盘(5)侧面圆周的角度标志a、b、c确定，a、b、c对应转台底盘(5)上三个锁定位置，a与b、b与c之间相对于转台回转中心心轴(9)的夹角为θ和φ，θ和φ是系统的基准角度，转台底盘(5)与被测转台(6)连接，激光头(1)通过电箱(15)与计算机(16)相接，系统的清零、“+”“-”显示符号设定和读数通过计算机完成。