探针卡及微小构造体之检查装置

摘要

本发明之探针卡4系与评估机构连接，该评估机构系对于形成于晶圆8之微小构造体之可动部16a输出测试音波，以评估微小构造体之特性；且包括：探针4a，其系为了在测试时检测依据形成于晶圆8之可动部16a动作之电性变化量，而与形成于晶圆8之微小构造体之检查用电极电性连接；及吸音材料11、遮蔽部18及集音器19之至少一个，其系抑制测试音波之反射或干扰。亦可取代吸音材料11，或除吸音材料11外另包括扩散部。此外，微小构造体之检查装置系包括具有吸音材料11、遮蔽部18或集音器19之探针卡4。