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发明名称 Verfahren zur Herstellung von schwebenden submikrometrischen Bauelemente und mechanische Charakterisierung der Bauelemente
摘要
申请公布号 EP1736434(A3) 申请公布日期 2008.07.02
申请号 EP20060114984 申请日期 2006.06.06
申请人 ALTIS SEMICONDUCTOR 发明人 VEKEMAN, PIERRE;LEFEVRE, SIDONIE;HOC, THIERRY;DECONINCK, PASCAL
分类号 B81B3/00;H01L21/308 主分类号 B81B3/00
代理机构 代理人
主权项
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