图案形成装置、标记检测装置、曝光装置、图案形成方法、曝光方法及元件制造方法

摘要

空间像测量装置，其一部分设于晶圆载台(WST)，且剩下之一部分设于测量载台(MST)，用以测量透过投影光学系统(PL)而形成之标记的空间像。因此，可在藉由空间像测量装置来测量投影光学系统(PL)之最佳聚焦位置时，将设有空间像测量装置一部分之晶圆载台在与投影光学系统之光轴(AX)平行之方向的位置，当作其最佳聚焦位置之基准来进行测量。因此，再以照明光(IL)使物体(W)曝光时，系根据该最佳聚焦位置之测量结果，以高精度调整晶圆载台(WST)在与光轴(AX)平行之方向的位置。