纳米氧化锌薄膜气体传感器及其制备方法

摘要

一种纳米氧化锌薄膜气体传感器包括音叉式石英晶片，该晶片是现成的，其两个电极分别从其两个振臂的根部引出，在所述的两个振臂上生长有纳米氧化锌薄膜，其工作基于以下现象：纳米氧化锌薄膜吸附特种气体后，振臂质量增大，导致音叉式石英晶片固有频率下降。该气体传感器的制备方法是在音叉型石英晶片的两个振臂上生长厚度为50～500纳米的纳米氧化锌薄膜，所述的纳米氧化锌的颗粒的粒径为10～100纳米。该气体传感器可与传统的晶体振荡器组成的频率型气体传感器频率型气体传感器，有结构简单、灵敏度高、制作方便、其输出信号的频率为数字量，无需模数转换，就能直接由数字电路进行后续的信号处理的优点，适于用来测量空气中乙醇气体的浓度。

主权项

1、一种纳米氧化锌薄膜气体传感器(5)，包括音叉式石英晶片，该晶片是现成的，其两个电极引出脚(6、7)分别从其两个振臂(9)的根部引出，其特征在于，在两个振臂(9)上生长有纳米氧化锌薄膜(8)，所述的纳米氧化锌的颗粒的粒径为10～100纳米，纳米氧化锌薄膜(8)的厚度为50～500纳米。