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发明名称 PROFILIERUNGSSYSTEM MIT VERTEILTEM WIDERSTAND
摘要
申请公布号 DE69835752(D1) 申请公布日期 2006.10.12
申请号 DE1998635752 申请日期 1998.07.10
申请人 SOLID STATE MEASUREMENTS INC. 发明人 MAZUR, ROBERT;STEPHENSON, C.;ANDY, MARK;HARTFORD, L.;ROGERS, R.
分类号 G01R31/26;G01N27/04;G01R1/06;G01R1/067;G01R27/02;G01R31/28;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
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