发明名称 |
Herstellungsverfahren einer photoelektrischen Dünnschicht-Umwandlungsanordnung aus amorphem Silizium |
摘要 |
|
申请公布号 |
DE69932227(D1) |
申请公布日期 |
2006.08.17 |
申请号 |
DE1999632227 |
申请日期 |
1999.09.03 |
申请人 |
KANEKA CORP. |
发明人 |
YOSHIMI, MASASHI;YAMAMOTO, KENJI |
分类号 |
H01L31/04;H01L31/20;H01L31/075 |
主分类号 |
H01L31/04 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|