发明名称 DETECTOR SYSTEM OF SECONDARY AND BACKSCATTERED ELECTRONS FOR A SCANNING ELECTRON MICROSCOPE
摘要
申请公布号 EP1673797(A2) 申请公布日期 2006.06.28
申请号 EP20040775184 申请日期 2004.10.06
申请人 POLITECHNIKA WROCLAWSKA 发明人 SLOWKO, WITOLD
分类号 H01J37/244;H01J37/28;(IPC1-7):H01J37/244 主分类号 H01J37/244
代理机构 代理人
主权项
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