一种微小构件通孔内表面三维形貌检测装置及其标定和使用方法

摘要

本发明属于检测技术领域，涉及一种对微小构件通孔内表面进行三维形貌检测的检测装置。它包括平台1和计算机9，其特征在于，有一个移动装置3，被检测构件10固定其上，有一个固定在激光器支架7上的激光器6，有一个固定在摄象机支架4上的CCD摄象机5，它通过转接镜头14与硬质内窥镜11连接，硬质内窥镜11、激光器6与被检测构件10上的待检测通孔同轴。本发明结构简单，检测速度快，自动化程度高，检测精度高。

主权项

1、一种微小构件通孔内表面三维形貌检测装置，包括一个平台[1]和计算机[9]，其特征在于，(1)有一个固定在平台[1]上的一维线性移动装置[3]，在其可移动台面上固定一个载物台[2]，被检测构件[10]固定在载物台[2]上，被检测构件[10]上的待检测通孔保持水平；(2)在一维线性移动装置[3]的一侧有一个固定在平台[1]上、可调整高度和位置的激光器支架[7]，激光器[6]固定在激光器支架[7]上，激光器[6]的光束轴线与被检测构件[10]上的待检测通孔同轴；(3)在一维线性移动装置[3]的另一侧有一个固定在平台[1]上、可调整高度和位置的摄象机支架[4]，CCD摄象机[5]固定在摄象机支架[4]上，CCD摄象机[5]通过转接镜头[14]与一个硬质内窥镜[11]连接，硬质内窥镜[11]与被检测构件[10]上的待检测通孔同轴，硬质内窥镜[11]的直径小于被检测构件[10]上的待检测通孔；(4)在硬质内窥镜[11]的端头套着一个玻璃管[12]，它的端头超出硬质内窥镜[11]的端头，在玻璃管[12]的端头上粘接着一个锥面反射镜[13]，该锥面反射镜[13]与硬质内窥镜[11]同轴；(5)有一个移动装置控制器[8]，它通过电缆分别与一维线性移动装置[3]和计算机[9]连接。