发明名称 Verfahren zur Herstellung eines Substrats, nach diesem Verfahren hergestelltes Substrat
摘要
申请公布号 DE10043587(B4) 申请公布日期 2006.03.30
申请号 DE20001043587 申请日期 2000.09.05
申请人 MAX-PLANCK-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER WISSENSCHAFTEN E.V. 发明人 GOESELE, ULRICH;PLOESL, ANDREAS
分类号 C30B25/00;A44C17/00;C30B25/18;C30B29/04;C30B33/00 主分类号 C30B25/00
代理机构 代理人
主权项
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