发明名称 Thermal anemometry mass flow measurement apparatus and method
摘要
申请公布号 GB0524492(D0) 申请公布日期 2006.01.11
申请号 GB20050024492 申请日期 2004.05.17
申请人 MKS INSTRUMENTS INC 发明人
分类号 G01F1/684;G05D7/06 主分类号 G01F1/684
代理机构 代理人
主权项
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