抗反射涂层或吸光涂层组合物及其使用的聚合物

摘要

本发明涉及一种表现出对100～450nm波长光线良好吸光性的抗反射涂层或吸光涂层组合物，该组合物没有沉淀和掺混，并且具有显著的储藏稳定性和步进覆盖度；本发明还涉及用于这种组合物的共聚物。所说的共聚物是丙烯酸或甲基丙烯酸共聚物，其主链具有键合到其碳原子上的羧基以及反应键合到其上的至少(1)直接或通过-R₁NHCXY基(其中R₁表示亚烷基；X表示O或S；Y表示O或NR₆；且R₆表示H或者取代或未取代的直链或环状烷基或亚苯基)键合的包含胺化或羟基化的有机发色团，该发色团吸收波长为100～450nm的光线，和(2)含烷基的重复单元，所说的烷基具有双键或环氧基。通过用上述组合物涂敷晶片形成底层抗反射涂层、用光致抗蚀剂涂敷涂层表面、然后用远紫外线曝光和显影可以形成高分辨率的抗蚀剂图像。

主权项

1.一种包含由以下通式I所示聚合物的抗反射涂层或吸光涂层组合物：通式I其中R是氢原子或烷基；R₁表示亚烷基、取代的亚烷基、亚环烷基、取代的亚环烷基、亚苯基或取代的亚苯基；R₂表示可任意选择地取代的、含乙烯基的苯基、-OR₄或COOR₄，其中R₄是具有双键或环氧基的烷基；R₃是卤原子、氰基、乙酸基、-COOH、-CONH₂、取代或未取代苯基、-COOR₅或-OR₅，其中R₅表示取代或未取代的直链、环状或支链烷基，或含酯基或羰基的烷基或芳基；X或者是O或者是S；Y或者是O或者是NR₆，其中R₆是氢原子、取代或未取代的苯基或环状、直链或支链烷基；D是吸收曝光波长(100～450nm)的有机发色团并且表示直接连接或通过亚烷基连接的取代或未取代的苯环、稠环或杂环；并且m和n表示大于零的任何数，而o是包括零的任何数。