| 摘要 |
提供一载台装置，不须使具备光学构件的活动载台的构造复杂化，即可控制该光学构件的温度。其使用Y轴线性马达(76A、78A、76B、78B)，于标线片底座(16)上沿Y方向驱动标线片载台本体(22)(用来保持标线片(R))。透过标线片载台本体(22)端部的光学构件支持部(24B2)上的光学系统(32)，照射计测用雷射束于固定在标线片底座(16)上的固定镜(MX)，以计测标线片载台本体(22)在X方向的位置。为使光学系统(32)的温度稳定，透过空气层(35)固定杆构件(27)于光学构件支持部(24B2)的底面，将温度经过控制的冷媒供至杆构件(27)。 |
