METHOD FOR DETECTING THE MODIFICATION OF A CHARACTERISTIC OF A SAMPLE CAUSED BY AN ENVIRONMENTAL INFLUENCE

摘要

Verfahren zur Detektion der durch einen Umwelteinfluss hervorgerufenen Änderung einer physikalisch messbaren Eigenschaft einer Probe, bei dem man (i) die Probe während einer Einwirkungszeit ?t dem Umwelteinfluss aussetzt, wobei man den Umwelteinfluss mit einer bekannten ortsabhängigen Intensitätsverteilung I(x, y) (Intensitätsmuster), der eine Musterfunktion M(x, y) zu Grunde liegt, auf die Probe einwirken lässt, (ii) anschliessend die Transmission, Reflektion oder Streuung von Analysestrahlung durch die Probe in Abhängigkeit der Ortskoordinaten (x, y) der Probe und der Wellen-länge ? der Analysestrahlung detektiert und so eine Antwortfunktion A(x, y, ?) be-stimmt, welche die Intensität der transmittierten, reflektierten oder gestreuten Analyse-strahlung in Abhängigkeit von den Ortskoordinaten (x, y) der Probe und der Wellenlän-ge ? wiedergibt,(iii) durch Korrelationsanalyse die Korrelation der bekannten ortsabhängigen Intensi-tätsverteilung I(x, y) des Umwelteinflusses oder der dieser zu Grunde liegenden Mus-terfunktion M(x, y) mit der Antwortfunktion A(x, y, ?) bestimmt, wobei diese Korrelation ein Mass für die durch den Umwelteinfluss hervorgerufenen Änderung der physikalisch messbaren Eigenschaft der Probe ist.