光阻除去方法及光阻除去装置

摘要

本发明之目的在于，提供可高效率地将基板表面的光阻除去之光阻除去方法及光阻除去装置。本发明之基板表面的光阻除去方法；为至少具有：使臭氧溶液作用于处理面之步骤 1、与使有机溶剂作用于处理面之步骤2。