| 主权项 |
1.一种用于即时监控晶圆持取系统的即时监控系统,该即时监控系统至少包含:一显示模组,用以显示监控情况;一输入模组,用以输入指令;一连接介面,用以提供该即时监控系统与该晶圆持取系统间连线的介面;复数条讯号线,分别与该连接介面以及该晶圆持取系统之复数个量测位置相连接,以传送该复数个量测位置处之量测讯号至该连接介面;一监控讯号转换模组,与该连接介面耦合,用以将该复数条讯号线传来的该量测讯号转换成数位逻辑讯号;一控制核心模组,分别与该显示模组、该输入模组、该监控讯号转换模组相耦合,用以掌控该监控系统的整个运作控制及命令收发,其中该运作控制及命令收发包含对任二该数位逻辑讯号进行比对、根据该比对结果判断出该晶圆持取系统运作异常的实际原因。2.如申请专利范围第1项之即时监控系统,其中上述之监控情况包含该晶圆持取系统运作异常之提示。3.如申请专利范围第1项之即时监控系统,其中上述之晶圆持取系统至少包含:一主系统;一主控制器,与该主系统相耦合,用以互传讯息,而该主控制器包含:一控制器组,与该主系统相耦合,用以根据该主系统传来的晶圆持取臂之运动讯息来发出相对应的脉冲或指向讯息,以及将该晶圆持取臂实际之运动状况回传给该主系统;及一驱动器组,与该控制器组相耦合,用以根据该控制器组传来的该脉冲或指向讯号来发出相对应的有顺序性相位切换的电压讯号;以及一晶圆持取臂,与该主控制器相耦合,用以互传讯息,而该晶圆持取臂包含:一马达组,与该驱动器组相耦合,用以根据该驱动器组传来的所述之有顺序性相位切换的电压讯号来转动;一传动及负载装置组,与该马达组相耦合,用以随着该马达组的转动而传动,因而使得该晶圆持取臂进行运动;一编码器组,分别与该传动及负载装置组、该主控制器相耦合,用以测出该马达组之实际转动状况并将该实际转动状况,回传给该主控制器。4.如申请专利范围第3项之即时监控系统,其中上述之量测讯号包含该控制器组传送给该驱动器组的该脉冲或指向讯号。5.如申请专利范围第3项之即时监控系统,其中上述之量测讯号包含该驱动器组传送给该马达组的所述之有顺序性相位切换的电压讯号。6.如申请专利范围第3项之即时监控系统,其中上述之量测讯号包含于该晶圆持取臂中传送的所述实际转动状况之讯号。7.如申请专利范围第3项之即时监控系统,其中上述之量测讯号包含于该主控制器中传送的所述实际转动状况之讯号。8.一种即时监控晶圆持取系统的方法,其中该方法至少包含下列步骤:量测该晶圆持取系统之复数个量测位置的量测讯号;转换该量测讯号成数位逻辑讯号;比对任二该数位逻辑讯号;根据该比对结果判断由该晶圆持取系统运作异常的实际原因。9.如申请专利范围第8项之方法,其中上述之晶圆持取系统至少包含:一主系统;一主控制器,与该主系统相耦合,用以互传讯息,而该主控制器包含:一控制器组,与该主系统相耦合,用以根据该主系统传来的晶圆持取臂之运动讯息来发出相对应的脉冲或指向讯息,以及将该晶圆持取臂实际之运动状况回传给该主系统;及一驱动器组,与该控制器组相耦合,用以根据该控制器组传来的该脉冲或指向讯号来发出相对应的有顺序性相位切换的电压讯号;以及一晶圆持取臂,与该主控制器相耦合,用以互传讯息,而该晶圆持取臂包含:一马达组,与该驱动器组相耦合,用以根据该驱动器组传来的所述之有顺序性相位切换的电压讯号来转动;一传动及负载装置组,与该马达组相耦合,用以随着该马达组的转动而传动,因而使得该晶圆持取臂进行运动;一编码器组,分别与该传动及负载装置组、该主控制器相耦合,用以测出该马达组之实际转动状况并将该实际转动状况,回传给该主控制器。10.如申请专利范围第9项之方法,其中上述之量测讯号包含该控制器组传送给该驱动器组的该脉冲或指向讯号。11.如申请专利范围第9项之方法,其中上述之量测讯号包含该驱动器组传送给该马达组的所述之有顺序性相位切换的电压讯号。12.如申请专利范围第9项之方法,其中上述之量测讯号包含于该晶圆持取臂中传送的所述实际转动状况之讯号。13.如申请专利范围第9项之方法,其中上述之量测讯号包含于该主控制器中传送的所述实际转动状况之讯号。图式简单说明:图一为习知的晶圆持取系统之架构示意图;图二为依据本发明之一较佳实施例所提出的用于即时监控晶圆持取系统的即时监控系统之架构示意图;图三为依据本发明之一较佳实施例所提出的用于即时监控晶圆持取系统的方法之流程图;图四为依据本发明之一较佳实施例,所提出的布设有复数个讯号量测点的晶圆持取系统之系统架构示意图。 |
