发明名称 DIGITALISIERUNGSSYSTEM MIT KOHAERENTER ABTASTUNG
摘要
申请公布号 DE69727810(D1) 申请公布日期 2004.04.01
申请号 DE19976027810 申请日期 1997.01.17
申请人 CREDENCE SYSTEMS CORP., FREMONT 发明人 REYNOLDS, DEAN;SLIZYNSKI, AURELI
分类号 H03M1/12;G01R31/3167;G01R31/319;G01R31/3193;(IPC1-7):H03M1/00;G06F11/24 主分类号 H03M1/12
代理机构 代理人
主权项
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