| 发明名称 | 通过采用光滑底电极结构具有改进的存储保持的薄膜铁电电容器 | ||
| 摘要 | 一种铁电薄膜电容器(400)具有光滑的电极(412、420)，随着铁电电容器老化允许相对较强的极化、较少疲劳及较少印记。光滑电极表面(414、428)是用小心地控制的干燥、轻烘烤及退火条件生成的。 | ||
| 申请公布号 | CN1132234C | 申请公布日期 | 2003.12.24 |
| 申请号 | CN98800229.9 | 申请日期 | 1998.03.03 |
| 申请人 | 松下电器产业株式会社 | 发明人 | 林慎一郎;大槻男 |
| 分类号 | H01L21/3205 | 主分类号 | H01L21/3205 |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人 | 蹇炜 |
| 主权项 | 1、一种用于集成存储器的薄膜铁电电容器(400)，所述薄膜铁电电容器的特征在于：具有第一光滑表面(414)的底电极(412)；与所述基本上光滑的表面接触并具有500埃到2300埃的厚度的铁电薄膜分层超晶格材料(420)；以及在所述铁电薄膜分层超晶格材料上方的顶电极(422)，所述顶电极具有与所述第一光滑表面对面的所述铁电薄膜分层超晶格材料接触的第二光滑表面(428)，所述第一与第二光滑表面分别基本上没有向所述薄膜铁电分层超晶格材料突出大于所述铁电薄膜分层超晶格材料的厚度的20％的表面不规则性特征(416、418、426)。 | ||
| 地址 | 美国科罗拉多 | ||