METHOD AND DEVICE FOR PLASMA TREATING WORKPIECES

摘要

Das Verfahren und die Vorrichtung dienen zur Plasmabehandlung von Werkstücken (5). Das Werkstück wird in eine zumindest teilweise evakuierbare Kammer (7) einer Behandlungsstation (3) eingesetzt und das Werkstück wird innerhalb der Behandlungsstation von einem Halteelement positioniert. Zur gleichzeitigen Versorgung von mindestens zwei Kammern mit mindestens einem Betriebsmittel wird eine Strömung des Betriebsmittels mindestens einmal in mindestens zwei Teilströme (55) verzweigt.