发明名称 薄膜黏贴方法及其装置
摘要 本发明系有关薄膜黏贴方法及其装置,尤其有关由加压黏贴辊子(以下简称为压榨辊子)黏贴作成拟黏贴于基板表面之薄膜于基板表面的方法及其装置者。于本发明,作为压榨辊子13,使用了具有可保持薄膜2b之功能者,而从薄膜前端保持构件5交给薄膜2b前端部于压榨辊子13的外周面,并以压榨辊子13外周面保持前端部而由旋转压榨辊子13来输送薄膜2b至基板14侧,以令前端部形成一致于黏贴基板14之开始位置,同时实施黏贴薄膜2b于基板14表面,而薄膜2b之后端部则从薄膜后端保持构件6来交给于压榨辊子13的外周面,并以压榨辊子13外周面保持后端部,且由压榨辊子13的旋转来黏贴全部之薄膜于基板14。(参考图1)
申请公布号 TW553828 申请公布日期 2003.09.21
申请号 TW091122391 申请日期 2002.09.27
申请人 日立产业有限公司 发明人 三浦淳;沼尻文晶;藤井健;弘中浩二;高桥一雄
分类号 B32B35/00 主分类号 B32B35/00
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路二段一二五号七楼
主权项 1.一种薄膜黏贴方法,系由压榨辊子(加压黏贴辊子)来黏贴拟黏贴于基板表面之形状的薄膜于基板表面之薄膜黏贴方法,其特征为:作为压榨辊子使用具有可保持薄膜之功能者,而由该压榨辊子外周面来保持拟黏贴之形状的薄膜前端部,且由旋转该压榨辊子来输送该拟黏贴之形状的薄膜至基板以令该前端部形成一致于基板的黏贴开始位置,同时黏贴该拟黏贴的形状之薄膜黏贴于基板表面,且该拟黏贴的形状之薄膜后端部也由该压榨辊子外周面来保持,并由该压榨辊子之旋转来黏贴该从前端部直至后端部为止之所有该拟黏贴之形状的薄膜于基板。2.如申请专利范围第1项之薄膜黏贴方法,其中压榨辊子系以静电吸着或黏着来保持薄膜于该压榨辊子外周面。3.如申请专利范围第1项之薄膜黏贴方法,其中在薄膜输送路径上设定由压榨辊子所要黏贴的基板和薄膜之黏贴开始位置,且从该位置定置薄膜切断位置于相当于要黏贴于该薄膜输送路径上流侧之该基板的所期盼薄膜长度之位置,并输送薄膜而黏贴薄片于该基板之状态下,同时切断薄膜成所期盼的长度。4.如申请专利范围第1项之薄膜黏贴方法,其中在薄膜输送路径上设定由压榨辊子所黏贴的基板和薄膜之黏贴开始位置,且从该位置的该基板输送路径之上流位置予以侦测该基板的前端位置,并从该侦测位置输送该基板于该基板和薄膜的黏贴开始位置。5.如申请专利范围第1项之薄膜黏贴方法,其中从将薄膜前端部由薄膜前端部保持构件突出之形状来保持的该薄膜前端部保持构件交给于该压榨辊子外周面,且以该压榨辊子外周面来吸着,而薄膜后端部则从薄膜后端保持构件交给于该压榨辊子外周面,且以该压榨辊子外周面吸着该后端部并由旋转该压榨辊子来使从该前端部直至后端部为止之所有(全部)薄膜以压榨辊子之旋转来黏贴于基板。6.如申请专利范围第1项之薄膜黏贴方法,其中具有压榨辊子于基板输送路面之上下各位置,各压榨辊子系朝基板方向移动来夹住该基板,而由旋转来黏贴该薄膜于该基板之同时,朝下流方向输送该基板。7.一种薄膜黏贴装置,系放出缠绕于薄膜缠绕(卷绕)辊之薄膜,而由压榨辊子来黏贴作成拟黏贴于基板输送路径上之基板表面的形状之薄膜于基板表面的薄膜黏贴装置,其特征为:具备具有保持薄膜用之功能的压榨辊子,该压榨辊子系以其外周面来至少保持该前端部,而由旋转该压榨辊子来朝基板侧输送作成该拟黏贴之形状的薄膜,以令该前端部形成一致于该基板的黏贴开始位置之同时,予以黏贴作成该拟黏贴形状的薄膜于基板表面,且也由该压榨辊子来保持该后端部,并由旋转该压榨辊子来黏贴从该前端部直至该后端部为止之作成该黏贴形状的所有薄膜于基板。8.如申请专利范围第7项之薄膜黏贴装置,其中该压榨辊子配备有令该薄膜成静电带电之带电机构,而由压榨辊子保持前述所带电的薄膜以实施压着(加压黏贴)。9.如申请专利范围第7项之薄膜黏贴装置,其中更具备有:以保持作成拟黏贴形状的薄膜前端部来交给该前端部于该压榨辊子外周面用之薄膜前端保持构件;及以保持作成拟黏贴形状的薄膜后端部来交给该后端部于该压榨辊子外周面用之薄膜后端保持构件。10.如申请专利范围第7项之薄膜黏贴装置,其中该压榨辊子系位于薄膜输送路径上和基板输送路径上者,具备有:从薄膜输送路径上之该压榨辊子所要黏贴的基板和薄膜之黏贴开始位置定置薄膜切断位置于相当于拟黏贴于薄膜输送路径上之上流侧的该基板之薄膜长度的位置用之切断位置设定机构;依据设定于该切断位置设定机构之切断位置资料(数据)来切断从该薄膜缠绕辊所放出的薄膜成为所期盼之长度用的机构;设置于较基板输送路径上之该压榨辊子更上流位置,用于侦测基板前端位置用的侦测机构;及用于从基板输送路径上之该侦测机构的设置位置输送该基板至基板和所切断之薄膜的黏贴开始位置用之机构。11.如申请专利范围第9项之薄膜黏贴装置,其中该薄膜后端保持构件具备有复数之吸引(吸取)孔于薄膜保持面部,而朝该薄膜之宽度方向排列吸引孔系以各别的阀来连通于共同之真空源,并作成各阀乃配合于薄膜之输送实施关闭之操作。12.如申请专利范围第9项之薄膜黏贴装置,其中该薄膜后端保持构件系作为从该薄膜缠绕辊所放出之薄膜朝广度方向切断来形成拟黏贴于该基板的形状之薄膜的切断机构之刀刃部接受台用产生功能者,再者,作成为当该切断机构朝宽度方向切断从该薄膜缠绕辊所放出之薄膜时,会位于该薄膜前端保持构件和该压榨辊子之间,并在该前端保持构件交给该前端部于该压榨辊子时,就会退出回避者。13.如申请专利范围第9项之薄膜黏贴装置,其中该薄膜前端保持构件和该薄膜后端保持构件,各具备有用于保持所切断之薄膜前端部或后端部用的静电吸着机构。14.如申请专利范围第8项之薄膜黏贴装置,其中在该带电机构附近配设有吹上清净(清洁)气体于作成拟黏贴形状的薄膜前端部用之管嘴(喷嘴)。15.如申请专利范围第8项之薄膜黏贴装置,其中在基板输送路径附近配设了用于令作成该拟黏贴形状之薄膜成为静电带电用的第2带电机构。16.如申请专利范围第7项之薄膜黏贴装置,其中该压榨辊子系由黏着来保持该薄膜用者。图式简单说明:图1系显示本发明之一实施形态的薄膜黏贴装置之概略剖面图。图2系用于说明图1之薄膜黏贴装置的动作程序用之流程图。图3系显示在完成准备薄膜黏贴动作时之图1的黏贴装置之后端保持构件、前端保持构件的图。图4系用于说明基板和所要黏贴薄膜之尺寸及关系用的图。图5系用于说明有关设定在图1之薄膜黏贴装置的黏贴薄膜用之图。图6系显示在图2之薄膜交给处理的图1之薄膜黏贴装置的薄膜前端保持构件等之状况图。图7系显示在图2之薄膜黏贴处理的图1之薄膜黏贴装置的薄膜前端保持构件等之状况图。图8系显示使用静电吸着机构于图1之薄膜黏贴装置的薄膜前端保持构件和后端保持构件之结构图。图9系显示本发明之其他实施形态的薄膜黏贴装置之概略剖面图。图10系显示本发明之另一实施形态的薄膜黏贴装置之主要部分的概略剖面图。图11系显示本发明之再另一实施形态的薄膜黏贴装置之主要部分的概略剖面图。
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