发明名称 | 微机电光学开关及其制造方法 | ||
摘要 | 提供了具有改善特性的一种基于MEMS的光学开关(100),以及用于制造该光学开关的方法。根据一个实施例,光学开关包括具有偏移梁结构(124)的单梳(122)驱动致动器(104)和与致动器耦合的镜(102)。镜能在插入在所述波导通道(106)间的伸展位置和远离所述波导通道的收缩位置之间移动。致动器施加力就能将梁结构偏移并将镜向伸展位置或收缩位置之一移动,并且在不施加力时,梁结构将镜返回到伸展位置或收缩位置中的另一位置。 | ||
申请公布号 | CN1370284A | 申请公布日期 | 2002.09.18 |
申请号 | CN00811629.6 | 申请日期 | 2000.08.01 |
申请人 | ADC电信股份公司 | 发明人 | N·张 |
分类号 | G02B26/02;H02N1/00;B81B3/00;G02B6/26 | 主分类号 | G02B26/02 |
代理机构 | 上海专利商标事务所 | 代理人 | 沈昭坤 |
主权项 | 1、一种在基片上形成镜面的方法,其特征在于,所述方法包括下列步骤:在所述基片上形成已形成图案的掩膜层,所述掩膜层覆盖了基片的第一区域以及基片的两侧区域,所述两侧区域的每一侧都邻近所述第一区域的一侧;使用所述已形成图案的掩膜层将基片的未覆盖部分去除,以在所述第一基片区域中留下第一凸起结构,并在邻近所述第一凸起结构的每侧基片区域上留下两个防蚀凸起结构;当留下完整的所述第一凸起结构时,选择性地去除防蚀凸起结构;和在所述第一凸起结构的侧壁上形成反射面。 | ||
地址 | 美国明尼苏达州 |