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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR ELIMINATING DISPLACEMENT CURRENT FROM CURRENT MEASUREMENTS IN A PLASMA PROCESSING SYSTEM
摘要
申请公布号 EP1224684(A1) 申请公布日期 2002.07.24
申请号 EP20000965188 申请日期 2000.09.20
申请人 VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ASSOCIATES INC. 发明人 GOECKNER, MATTHEW, J.;VAN WAGONER, CHARLES, E.
分类号 C23C14/48;G01R19/00;H01J37/32;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/32 主分类号 C23C14/48
代理机构 代理人
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