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发明名称 METHOD FOR TRENCH ISOLATION OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 KR20010111779(A) 申请公布日期 2001.12.20
申请号 KR20000032445 申请日期 2000.06.13
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 HONG, SU JIN;PARK, MUN HAN;PARK, TAE SEO
分类号 (IPC1-7):H01L21/76 主分类号 (IPC1-7):H01L21/76
代理机构 代理人
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