发明名称 BORDERLESS VIAS WITH CVD BARRIER LAYER
摘要
申请公布号 KR20010023696(A) 申请公布日期 2001.03.26
申请号 KR1020007002350 申请日期 2000.03.04
申请人 发明人
分类号 H01L21/3205 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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