发明名称 A CRYSTAL DEFECT-FREE AND FACET-FREE PROCESS FOR SELECTIVE EPITAXIAL GROWTH
摘要
申请公布号 KR100243348(B1) 申请公布日期 2000.02.01
申请号 KR19970061587 申请日期 1997.11.20
申请人 KOREA ELECTRONICS & TELECOMMUNICATIONS RESEARCH INSTITUTE 发明人 LEE, SOO-MIN;JO, DUCK-HO;RYUM, BYUNG-RYUL;HAN, TAE-HYUN
分类号 H01L21/336;(IPC1-7):H01L21/336 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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