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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH11168105(A) 申请公布日期 1999.06.22
申请号 JP19980277764 申请日期 1998.09.30
申请人 SIEMENS AG 发明人 TOBBEN DIRK
分类号 H01L21/3205;H01L21/311;H01L21/312;H01L21/314;H01L21/316;H01L21/318;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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