| 发明名称 |
COMPOSITE DIELECTRIC LAYER AND FORMING METHOD THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10189587(A) |
申请公布日期 |
1998.07.21 |
| 申请号 |
JP19970324905 |
申请日期 |
1997.11.26 |
| 申请人 |
TEXAS INSTR INC <TI> |
发明人 |
TICKNOR GRIDER DOUGLAS III;NICOLLIAN PAUL EDWARD;HSIA STEVE |
| 分类号 |
H01L29/78;H01L21/28;H01L21/314;H01L21/318;H01L29/51;(IPC1-7):H01L21/318 |
主分类号 |
H01L29/78 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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