SISTEMA DI OTTIMIZZAZIONE DEL SEGNALE OTTICO DI ALLINEAMENTO E DELLE PRESTAZIONI DI ALLINEAMENTO GLOBALE, DI UN ALLINEATORE A RAGGI X,申请号IT1996RM00635-传众专利搜索

发明名称	SISTEMA DI OTTIMIZZAZIONE DEL SEGNALE OTTICO DI ALLINEAMENTO E DELLE PRESTAZIONI DI ALLINEAMENTO GLOBALE, DI UN ALLINEATORE A RAGGI X
摘要
申请公布号	IT1286316(B1)	申请公布日期	1998.07.08
申请号	IT1996RM00635	申请日期	1996.09.18
申请人	C.N.R. - CONSIGLIO NAZIONALE DELLE RICERCHE;CENTER FOX X-RAY LITHOGRAPHY	发明人	DI FABRIZIO ENZO;GRELLA LUCA;GENTILI MASSIMO;BACIOCCHI MARCO;MASTROGIACOMO LUIGI;MAGGIORA ROMANO;YOUNG JIN JEON;HYUNG JOUN YOO;PESCHIAROLI DANIELA;SANG-SOO CHOI;HAI BIN CHUNG;CERRINA FRANCO
分类号	H01J	主分类号	H01J
代理机构		代理人
主权项
地址