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发明名称 DRY ETCHING METHOD OF SILICON THIN FILM
摘要
申请公布号 KR0138629(B1) 申请公布日期 1998.06.15
申请号 KR19930025913 申请日期 1993.11.30
申请人 SHARP KK. 发明人 SAKURAI, DAKEHISA;WOOJIMASA, HITOSHI;KAWAI, KATSUHIRO;BAN, ATSUSHI;KAZITANI, MASARU;KATAYAMA, MIKIO
分类号 H01L27/148;(IPC1-7):H01L27/148 主分类号 H01L27/148
代理机构 代理人
主权项
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