| 发明名称 |
PRECISION MOVING APPARATUS AND LIGHT WAVE INTERFEROMETER SYSTEM USED THEREIN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09318309(A) |
申请公布日期 |
1997.12.12 |
| 申请号 |
JP19960134598 |
申请日期 |
1996.05.29 |
| 申请人 |
NIKON CORP;NIKON GIJUTSU KOBO:KK |
发明人 |
NAGAMINE HIROSHI |
| 分类号 |
G01B9/02;(IPC1-7):G01B9/02 |
主分类号 |
G01B9/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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