发明名称 MANUFACTURE OF FILM
摘要
申请公布号 JPH09232250(A) 申请公布日期 1997.09.05
申请号 JP19960058333 申请日期 1996.02.20
申请人 SEMICONDUCTOR ENERGY LAB CO LTD 发明人 OHORI TATSUYA;TAKEI MICHIKO;CHIYOU KOUYUU;MURAKAMI AKANE
分类号 H01L21/28;H01L21/31;H01L21/336;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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