发明名称 Verfahren und System zur optischen Projetkionsbelichtung
摘要
申请公布号 DE69215942(T2) 申请公布日期 1997.07.24
申请号 DE19926015942T 申请日期 1992.03.24
申请人 NIPPON TELEGRAPH AND TELEPHONE CORP., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 MATSUO, SEITARO, ATSUGI-SHI, KANAGAWA, JP;TAKEUCHI, YOSHINOBU, MACHIDA-SHI, TOKYO, JP;KOMATSU, KAZUHIKO, ATSUGI-SHI, KANAGAWA, JP;TAMECHIKA, EMI, ISEHARA-SHI, KANAGAWA, JP;MIMURA, YOSHIAKI, ATSUGI-SHI, KANAGAWA, JP;HARADA, KATSUHIRO, SETAGAYA-KU, TOKYO, JP;HORIUCHI, TOSHIYUKI, SAGAMIHARA-SHI, KANAGAWA, JP
分类号 G03F7/20;(IPC1-7):G03B27/53;G03F9/00 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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