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发明名称 SHIGAISENSHOKYOGATAFUKIHATSUSEIHANDOTAISOCHI
摘要
申请公布号 JP2633571(B2) 申请公布日期 1997.07.23
申请号 JP19870190863 申请日期 1987.07.30
申请人 TOSHIBA KK 发明人 MORI SEIICHI
分类号 H01L21/8247;H01L29/51;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L21/824 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
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