| 申请人 |
MICROPARTS GESELLSCHAFT FUER MIKROSTRUKTURTECHNIK MBH, 44227 DORTMUND, DE |
发明人 |
UENAL, NEZIH, DIPL.-ING., 44227 DORTMUND, DE;ROGNER, ARND, DR., 45549 SPROCKHOEVEL, DE;PETERS, RALF-PETER, DR., 51467 BERGISCH-GLADBACH, DE;HEYDE, WOLFGANG AUF DER, DR., 45721 HALTERN, DE;LANDWEHR, DIERK, DIPL.-ING. DR., 48249 DUELMEN, DE;HEINRICH, LOTHAR, DR., 48165 MUENSTER, DE |
