| 发明名称 |
THIN OXIDE FILM AND ITS PRODUCTION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06263440(A) |
申请公布日期 |
1994.09.20 |
| 申请号 |
JP19930080142 |
申请日期 |
1993.03.15 |
| 申请人 |
NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> |
发明人 |
HIDAKA YOSHIKAZU;KARIMOTO SHINICHI;ASAHI MASAYOSHI;ASANO HIDEFUMI;SUZUKI MINORU |
| 分类号 |
C01G1/00;C01G3/00;C23C14/08;C30B29/22;H01B12/06;H01B13/00;H01L39/24;(IPC1-7):C01G3/00 |
主分类号 |
C01G1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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