发明名称 GATE ELECTRODE AND FORMATION THEREOF
摘要
申请公布号 JPH06132314(A) 申请公布日期 1994.05.13
申请号 JP19920281930 申请日期 1992.10.20
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 INOGUCHI KAZUYUKI;OMURO KAZUHIKO
分类号 H01L21/28;H01L21/338;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/338 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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