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发明名称 IONIC BEAM DEPOSITION SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH0633229(A) 申请公布日期 1994.02.08
申请号 JP19930114420 申请日期 1993.05.17
申请人 INTERNATL BUSINESS MACH CORP <IBM> 发明人 PATORISHIA JII BURAUNAA;ANDORIYUU DEEBUITSUDO DABUNAA;JIEEMUZU PIITAA REBUIN;JIYAN RESUTAA MAUWAA ZA FUOOSU;ARUFURETSUDO WAGUNAA
分类号 C23C14/32;C07F1/12;C23C16/18;C23C16/48;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/44;(IPC1-7):C23C14/32 主分类号 C23C14/32
代理机构 代理人
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