发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES MIKROMECHANISCHEN BAUTEILS, VORZUGSWEISE FÜR FLUIDISCHE ANWENDUNGEN UND MIKROPUMPE MIT EINER PUMPMEMEMBRAN AUS EINER POLYSILICIUMSCHICHT
摘要
申请公布号 EP1651867(B1) 申请公布日期 2007.05.02
申请号 EP20040738869 申请日期 2004.07.07
申请人 ROBERT BOSCH GMBH 发明人 FUERTSCH, MATTHIAS;BENZEL, HUBERT;FINKBEINER, STEFAN;PINTER, STEFAN;FISCHER, FRANK;STAHL, HEIKO;PIRK, TJALF
分类号 F04B43/04;F04B19/00 主分类号 F04B43/04
代理机构 代理人
主权项
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