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发明名称 PLASMA PROCESSING SYSTEM AND METHOD
摘要
申请公布号 EP0522296(A3) 申请公布日期 1993.03.10
申请号 EP19920109655 申请日期 1992.06.09
申请人 KAWASAKI STEEL CORPORATION 发明人 KINOSHITA, OSAMU;MURAKAWA, SHIGEMI;KUBOTA, NAOKI
分类号 C23F4/00;G21K1/14;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H05H3/00;(IPC1-7):H01J37/32 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
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