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发明名称 FABRICATION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0547783(A) 申请公布日期 1993.02.26
申请号 JP19910207765 申请日期 1991.08.20
申请人 FUJITSU LTD 发明人 TONE SACHIE
分类号 H01L21/265;H01L21/336;H01L21/8234;H01L27/088;H01L29/78 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
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