发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04348527(A) 申请公布日期 1992.12.03
申请号 JP19910120525 申请日期 1991.05.27
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 NAKAJIMA TSUNEHIRO
分类号 H01L21/22;H01L21/225;H01L21/265;H01L21/322;H01L21/336;H01L29/78 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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