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发明名称 PRODUCTION OF SILICON SINGLE CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH042686(A) 申请公布日期 1992.01.07
申请号 JP19900103984 申请日期 1990.04.19
申请人 NIPPON STEEL CORP 发明人 MIYAZAKI YOSHIMASA
分类号 C30B15/04;C30B29/06;H01L21/208;(IPC1-7):C30B15/04 主分类号 C30B15/04
代理机构 代理人
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