| 摘要 |
On propose un procédé pour le montage d'un capteur, en particulier d'un capteur de masses d'air, où au moins un élément capteur est structuré à partir d'une tranche. On sépare l'élément capteur de la tranche et on le place sur un substrat. Lors de la structuration de l'élément capteur au moyen de l'attaque anisotrope, les bords extérieurs de l'élément capteur sont attaqués en même temps de manière anisotrope, de manière que l'élément capteur ne soit relié à la tranche, à partir de laquelle il est structuré, que par de minces arêtes, lesquelles sont sectionnées pour séparer les éléments capteurs. Dans une deuxième tranche on fait par attaque anisotrope, au moins une ouverture que l'on dimensionne suivant les dimensions géométriques de l'élément capteur. Pour confectionner le capteur, on introduit l'élément capteur dans l'ouverture de la deuxième tranche. |
