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经营范围
发明名称
VACUUM DEVICE
摘要
申请公布号
JPH03145724(A)
申请公布日期
1991.06.20
申请号
JP19890284204
申请日期
1989.10.31
申请人
TOKYO ELECTRON LTD
发明人
NAKAYAMA TETSURO
分类号
C23F4/00;B01J3/03;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065
主分类号
C23F4/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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