驱动器的非线性滞后校正仪

摘要

本实用新型是一种驱动器的非线性滞后校正系统，适用于精密驱动定位，微调技术中产生所需的微米、亚微米级变形量。本实用新型由测定驱动器实际变形量的应变测量装置和采用负反馈闭环控制的非线性校正电路构成，对大滞后压电陶瓷驱动器的滞后量有很显著的校正，低频时，滞后量基本消除高频时，滞后量≤±4％，同时驱动器校正前后的变形量损失极小，保证了驱动器的高线性精度和大变形范围，扩大了使用范围。

主权项

1、一种涉及微位移驱动器的非线性滞后校正仪，其特征在于本发明由测定驱动器实际变形量的应变测量装置和校正电路构成，校正电路是采用负反馈控制的对应变测量装置输出信号进行放大、并与原输入的驱动信号进行比较、叠加、经高压放大后输出控制驱动信号的非线性校正电路。